TECHNOLOGY & SERVICES
賦能先進製程 ‧ 驅動半導體核心應用
以專業的製程知識為核心，結合強大的客製化與 Troubleshooting 能力，扮演客戶最堅實的研發與生產夥伴，協助實現以下技術支援：
01
關鍵零組件 CIP 優化與客製化服務
For CMP 研磨頭零組件 & ECP 電鍍 Cell 零組件：
- 幾何與結構優化
- 材料與物性調整
- 表面特性處理
02
自主研發高精密製程優化設備
- Forseti Leak Rate Test Fixture：支援離線(Offline)確認研磨頭氣密性，確保機上運作穩定性
- Chronos Pressure Sustainable Fixture：研磨頭上機前執行保壓&應力釋放，以利上機能精準達到目標 Profile
03
故障排除與異常處理(Troubleshooting)
- Issue 診斷與對策建議：針對產線組件運作異常，迅速進行根因分析並提供改善方案。
- 高精密量測服務：運用廠內三次元（CMM）等高精度量測設備，幫助客戶進行精密數據驗證與組件分析。